在線式真空等離子清洗機(jī)基本參數(shù):
| 型號(hào) | 在線式真空等離子清洗機(jī) |
| 處理時(shí)間 | 2-3分鐘/循環(huán) |
| 輸入電壓 | 220V±10%（AC）50-60HZ |
| 輸出功率 | 2 * 1KW |
| 輸出電壓 | 8000-12000AC |
| 工作環(huán)境溫度 | -10℃-30℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | 20%-90% |
| 工作頻率 | 40KHz |
| 產(chǎn)能 | 兩層托盤(pán)，尺寸定制 |
| 抽真空時(shí)間 | ＜40s |
| 真空度 | 5-100pa(可調(diào)) |
| 傳送裝置 | 三段式軌道，上下兩層中轉(zhuǎn)（可根據(jù)需求定制） |
| 真空泵組 | 油泵/干泵+羅茨增壓泵 |
| 可增變冷水機(jī)組 | 可選配 |
| 自主研發(fā)控制軟件 | 生產(chǎn)信息統(tǒng)計(jì)，MES系統(tǒng)對(duì)接、工藝參數(shù)調(diào)節(jié)等功能 |
| 工藝氣體 | 5路工作氣體可選：Ar2/N2/H2/CF4/O2 |
| 氣源 | CDA 0.5MPa- 0.6MPa，氣壓報(bào)警裝置 |
| 腔體溫度 | ＜30℃ |
| 有效處理寬幅 | 200mm-2000mm（可定制） |
| 等離子發(fā)生器頻率 | 40KHz/13.56MHz/2.45GHz（選配） |
| 傳動(dòng)電機(jī) | 86伺服馬達(dá) |
| 噴頭運(yùn)行方式 | 往復(fù)式 |
| 噴槍火焰長(zhǎng)度 | 10mm-30mm |
| 輸入氣壓報(bào)警 | 菜單+聲光報(bào)警 |
| 射頻電源 | 13.56MHz |
| 溫度檢測(cè)裝置 | 設(shè)備加裝有溫度掃描儀，能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)到 |
在線式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
在線式真空等離子清洗機(jī)可以實(shí)現(xiàn)溫度、真空值、反應(yīng)氣體實(shí)時(shí)檢測(cè)；
整機(jī)采用PLC微電腦控制系統(tǒng)，無(wú)縫對(duì)接MES系統(tǒng)；
適合各種形狀產(chǎn)品，通用性高；
合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻；
良好的安全性，多功能安全保護(hù)；可根據(jù)客戶(hù)需求定制。
自動(dòng)進(jìn)出料，可對(duì)接原有生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化在線生產(chǎn)；
在線式真空等離子清洗機(jī)機(jī)器介紹:
反應(yīng)倉(cāng)
為了滿(mǎn)足快速高效的工業(yè)生產(chǎn),并基于對(duì)產(chǎn)品的需求,將等離子反應(yīng)倉(cāng)設(shè)計(jì)為小型長(zhǎng)方體,反應(yīng)倉(cāng)體內(nèi)部尺寸,一方面減少了抽真空和壓力平衡的時(shí)間,提高了效率另一方面減少了氣體的消耗,節(jié)約了成本。此外,在倉(cāng)體側(cè)面開(kāi)有一可視透明小窗口,可以通過(guò)此處檢查氣體放電的情況。
射頻等離子產(chǎn)生系統(tǒng)
射頻等離子產(chǎn)生系統(tǒng)包括射頻電源和射頻匹配網(wǎng)絡(luò),射頻電源是等離子體放電的關(guān)鍵設(shè)備,等離子體反應(yīng)器是利用其提供的能量,生成電子、離子等活性粒子,即等離子體。在電源的參數(shù)選擇方面,工作頻率為,射頻輸出功率為一的可調(diào)區(qū)間,主系統(tǒng)電源電壓為士,外接線路工頻為一,采用三相四線接法
真空系統(tǒng)
低壓等離子放電相對(duì)于常壓等離子放電,放電更穩(wěn)定,粒子的自由程更長(zhǎng),等離子的活性更強(qiáng),溫度更低,對(duì)高精密儀器的清洗傷害更小,放電開(kāi)始前需對(duì)反應(yīng)倉(cāng)體進(jìn)行抽真空,使用真空泵對(duì)倉(cāng)體進(jìn)行抽真空,極限真空度小于或等于,真空泵在清洗物體放入后啟動(dòng),并在清洗過(guò)程中一直運(yùn)行,保證倉(cāng)體內(nèi)壓力穩(wěn)定在一個(gè)范圍內(nèi)。
上、下料傳動(dòng)系統(tǒng)
上下料系統(tǒng)主要由機(jī)械手、傳送帶、升降機(jī)和滑動(dòng)導(dǎo)軌組成,在上下料系統(tǒng)中料盒可在豎直方向和水平方向移動(dòng)。豎直方向移動(dòng)由升降伺服電機(jī)帶動(dòng)升降平臺(tái)實(shí)現(xiàn),升降平臺(tái)與料盒一起做豎直運(yùn)動(dòng)。水平方向移動(dòng)由水平伺服電機(jī)帶動(dòng)料盒安裝板實(shí)現(xiàn),機(jī)械手傳送機(jī)構(gòu)完成物料的傳送。
